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首頁-技術文章-深入了解全自動臺式掃描電鏡的原理與構造

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深入了解全自動臺式掃描電鏡的原理與構造

更新時間:2023-10-26      點擊次數(shù):599
   全自動臺式掃描電鏡是一種高分辨率的顯微鏡,通過掃描樣品表面并利用電子信號生成圖像。它與傳統(tǒng)光學顯微鏡不同,能夠提供更高的放大倍數(shù)和更好的表面細節(jié)。
 
  以下是全自動臺式掃描電鏡的原理和構造的詳細解釋:
  1.電子源:使用電子束作為探針。電子源通常采用熱陰極或場發(fā)射陰極。熱陰極需要加熱以產生電子,而場發(fā)射陰極則通過在高電場下產生電子。
 
  2.電子透鏡系統(tǒng):電子束經過聚焦和導向,通過一系列電子透鏡來控制和調整其軌跡和聚焦度。這些透鏡系統(tǒng)幫助形成一個細且聚焦的電子束。
 
  3.樣品臺:樣品臺是放置待觀察樣品的位置。它通常具有微動裝置,可沿XY方向移動和定位樣品。樣品通常需要制備成導電性良好的形式,以便電子束可以在其表面掃描。
 
  4.掃描線圈:掃描線圈用于產生一個水平和垂直掃描的磁場,將電子束沿著樣品表面進行迅速的掃描。這種掃描方式可以覆蓋整個樣品,并獲得樣品表面的詳細信息。
 
  5.接收器和檢測系統(tǒng):當電子束與樣品表面相互作用時,會產生多種類型的信號,如二次電子信號(SE)、反射電子信號(BSE)和特征X射線等。接收器和檢測系統(tǒng)會收集和測量這些信號,進而生成圖像和分析樣品特性。
全自動臺式掃描電鏡
  6.顯示器和控制系統(tǒng):配備有顯示器和控制系統(tǒng),供操作人員進行實時觀察和控制。操作人員可以通過控制系統(tǒng)調整電子束的參數(shù),如加速電壓、掃描速度和探針電流等,以優(yōu)化圖像質量和觀察需求。
 
  7.數(shù)據(jù)處理和分析軟件:通常配備了數(shù)據(jù)處理和分析軟件,用于對獲取的圖像進行進一步的處理、測量和分析。這些軟件可以提供放大、對比度增強、三維重建等功能,幫助用戶獲得更全面和詳細的樣品信息。
 
  通過以上構造和原理,全自動臺式掃描電鏡能夠實現(xiàn)對樣品表面微觀結構的高分辨率成像,廣泛應用于材料科學、生物科學、電子工程、納米技術等領域的研究和分析。
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